1.需求主要内容：研发一套12寸纳米级桌面旋涂装备，需完成旋涂装备结构模型开发，涂胶装备控制系统软硬件开发，显影装备控制系统软硬件开发，去胶装备控制系统软硬件开发，完成现场功能调试。
2.现有基础：我们已掌握包括传片机器人的国产化设计与制造，离心工艺用电机国产化设计与制造，胶泵国产化设计与制造，特氟龙阀体定量扬程泵国产化设计与制造等核心关键件的国产化制造技术；掌握整机开发的集成创新技术。